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晶圆激光打孔机、首昂光电(上海)有限公司

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  • 发布日期:2023-04-04 09:36:53
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首昂光电(上海)有限公司

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来源:首昂光电(上海)有限公司时间:2023-04-04 09:36:53
?采用红外激光器
?孔深比大,微孔圆度好
?光路固定,平台移动,孔型一致性较好,垂直度好
?大理石基台,稳定可靠,热变形小
?自动布孔,孔距可设,精准全中文操作界面,操作直观、简易,界面良好
?采用闭环控制,精度高
?高可靠性和稳定性
?真空吸附平台
?导入DXF图形,根据图形要求打孔,操作简便效率高


广泛应用于硅晶片,半导体晶圆,非晶薄膜等材料。


设备型号                  MSW-6212
激光波长                  红外,1064nm
激光功率                  30w
最大加工晶圆尺寸 4寸
打点速度                  300mm/s
划线线宽                  35~45μm
划线线深                  < 120μm(视材料而定)
系统定位精度 5μm
重复定位精度 2μm
激光器使用寿命 10 万小时
机器外型尺寸 960*730*1740mm
整机重量                  660kg

                  

十五年深耕激光设备研发,十五年扎根半导体行业应用,造就了首昂光电深厚的技术沉淀以及独特的行业视角,我们一直致力于把更好的激光与自动化技术带入半导体行业。
作为国内首批将激光应用于二极管、三极管及可控硅晶圆划切的领军者,公司技术团队正积极将激光技术应用到更宽广的半导体领域,助力中国半导体行业走向高端与自主可控。公司已储备大量基础加工技术,正稳步推进一系列拥有自主知识产权的新工艺、新应用,在多个关键制程设备上达到行业领先水平,完美实现国产化替代。

?采用红外激光器
?孔深比大,微孔圆度好
?光路固定,平台移动,孔型一致性较好,垂直度好
?大理石基台,稳定可靠,热变形小
?自动布孔,孔距可设,精准全中文操作界面,操作直观、简易,界面良好
?采用闭环控制,精度高
?高可靠性和稳定性
?真空吸附平台
?导入DXF图形,根据图形要求打孔,操作简便效率高

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